美國艾里卡特質量流量控制器-多重氣體可選，Alicat的多種氣體可選系列數字式質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥精確測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。

性能/參數

多種氣體可選系列質量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標定氣體

內置90條氣體可選擇

精度(調零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重復性

±0.2%FS

漂移(零點/滿量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范圍

0.5-

響應時間

100毫秒(調整)

啟動預熱時間

1秒內

標準工況

25ºC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

大工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態

常閉

材質

SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數字信號

標準RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標準0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標準0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標準圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

20SLPM以內：250mA

50SLPM以內：750mA

注：5000SLPM消耗2000mA電流